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阿里彩票|准分子激光器应用于先进电路封装
来源:阿里彩票    发布时间:2020-11-08 20:54:01

阿里彩票_消费者对微阿里彩票电子产品的拒绝非常挑剔,灵活,节能和功能更强,这最终拒绝电路PCB技术使用更小的特征尺寸。随着电路大小的增加,在高级设备电路PCB中用作各种微结构过程的现有方法(如光刻)更加令人不满意,成本也减少,因此准分子激光可以获得诱人的替代方案。

本文介绍了将准分子激光应用于玻璃插入板钻孔的方法,以及SSSMicroTec公司(美国加州科洛纳市)的密钥交换系统平台如何将准分子激光成功应用于其他先进设备PCB。2.5D和3DPCB我们说的3DPCB是构建更高密度微电子PCB的最重要的新技术。

在3DPCB中像三明治一样填充多个分离的ICs (ICS)。点对点基板在芯片之间有点对点和连任布线电路。

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这种基板被称为插板,可以由硅或玻璃组成。目前实际用于微电子生产的是2.5DPCB。这是在插入器板上填充电路芯片的中间阶段。

主要过程之一是用于在电路元件之间建立电气连接的微钻孔(通孔)。通孔直径目前为25米范围。这些通孔可以使用多种技术生产,包括光刻、战士、喷砂、超声波钻孔或激光激光。激光激光被称为接触式,柔韧性强,可以应用于多种材料,体积小,准确度高,因此比其他方法更有优势。

此外,激光微结构生产通常可以提高生产率和效果,保持出色的流程一致性。再补充一点,本质上是一个更环保的过程,可以避免潜在危险的广角技术用化学品。基于这些优点,CO2激光器通常用作应用微电子PCB的通孔钻孔工艺已有很长时间。但是CO2激光器的长红外波长由于散射的影响,允许下面讨论的光斑大小。

结果表明,CO2激光钻头直径的实际上限约为70米。因此,要想制造更小的直径,就需要制造更短的波长(例如紫外线)。为了探索准分子激光应用于该应用的潜力,一致性(Coherent)被应用于实验室,在一项测试中,玻璃薄片上制造了许多用铁环紧密对齐的孔。

特别是它们是25米直径的孔,节距(孔之间的距离)为50米,玻璃基板厚度为100 ~ 300米。它们的激光波长为193纳米,脉冲能量为600mJ,工件表面产生的能量密度为7J/cm2。自由选择193nm波长是因为玻璃对这种波长有很强的吸收力。所有厚度的情况下,只要700脉冲以下,就能生产出干净、圆、平的洞。

厚度小的话,孔经常会发生锥度,但在玻璃的两侧反向钻孔,不会大幅提高。半透明玻璃更容易配置,因为旋转后可以在另一侧钻孔,所以可以容易地找到玻璃一侧的基准标记。

总之,该测试证明,直径较低的通孔可以成功生产到5米(图1)。_阿里彩票。

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